ULVAC 愛發(fā)科多級(jí)羅茨型干泵現(xiàn)貨日本

ULVAC 愛發(fā)科多級(jí)羅茨型干泵現(xiàn)貨日本
低溫區(qū)域均熱化（LR系列）
在PVD工藝之外，尤其適于那些為了提高產(chǎn)能而需要縮短排氣時(shí)間的重要的備料下料室排氣的一款泵。
氦氣密封
通過搭載屏蔽電動(dòng)機(jī)形成密閉結(jié)構(gòu)，非常安全。
瞬停對策
采取了1000msec以內(nèi)瞬停對策。
出色的耐腐蝕性

產(chǎn)品型號(hào)：LR180/LR421-T
廠商性質(zhì)：代理商
更新時(shí)間：2025-05-16
訪問量：714

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產(chǎn)品詳情

品牌	ULVAC/日本愛發(fā)科	價(jià)格區(qū)間	2萬-3萬
儀器種類	真空泵	產(chǎn)品類型	無油泵
產(chǎn)地類別	進(jìn)口	應(yīng)用領(lǐng)域	化工,生物產(chǎn)業(yè),農(nóng)林牧漁,建材/家具,綜合
供貨號(hào)	137.1702.5688

ULVAC 愛發(fā)科多級(jí)羅茨型干泵現(xiàn)貨日本

特點(diǎn)
低溫區(qū)域均熱化（LR系列）
在PVD工藝之外，尤其適于那些為了提高產(chǎn)能而需要縮短排氣時(shí)間的重要的備料下料室排氣的一款泵。
氦氣密封
通過搭載屏蔽電動(dòng)機(jī)形成密閉結(jié)構(gòu)，非常安全。
瞬停對策
采取了1000msec以內(nèi)瞬停對策。
出色的耐腐蝕性
主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蝕性的特殊表面處理。降低腐蝕性氣體排氣時(shí)對泵內(nèi)部的腐蝕。
通信功能
可讀取與泵運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)相關(guān)的數(shù)據(jù)、警告/報(bào)警履歷。如果使用專用軟件進(jìn)行計(jì)算機(jī)通信，則可實(shí)現(xiàn)集中監(jiān)控。

用途

成膜裝置（濺射裝置/蒸鍍裝置等）
縮短備料下料室的排氣時(shí)間
作為輔助排氣泵（渦輪分子泵、機(jī)械增壓泵的輔助排氣）

規(guī)格

型號(hào)		LR60	LR90	LR180	LR421	LR421-T
最大排氣速度	50Hz	62 m³/h (1030 L/min)	112 m³/h (1860 L/min)	183 m³/h (3100 L/min)	440 m³/h (7333 L/min)	440 m³/h (7333 L/min)
	60Hz	80 m³/h (1333 L/min)	126 m³/h (2100 L/min)	237 m³/h (3950 L/min)
到達(dá)壓力		5.0 Pa
最大排氣壓力（吸入圧力）		大氣壓
最大排氣口壓力（排出圧力）		1~ 大氣壓 Pa
吸氣口 (CE規(guī)格)		VG50(KF50)	VG80(KF50)		VG100
排氣口		KF40			VG50
質(zhì)量		180 kg	245 kg	335 kg	415 kg
電源 *1	三相	200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz)			180~240 VAC/ 380~440 VAC(50/60 Hz)